水中臭氧監測儀是根據國標DPD分光光度法檢測臭氧含量。臭氧特性標記物與檢測到的水樣產生顯色反應，通過特定波長測量其吸光度，從而準確計算出水樣中的臭氧含量。采用光電比色檢測原理替代傳統的視覺比色法，消除了人眼視覺不清晰造成的誤差，提高了測量分辨率。
一旦水中的臭氧達到一定濃度，它會在0.5到1分鐘內殺死所有細菌。當水中臭氧濃度達到0.43mg/L時，可100%殺滅大腸桿菌，10℃時僅為0.36mg/L。 l 可以全部殺死；當濃度達到0.25～38mg/L時，只需幾秒或幾分鐘即可完全滅活甲肝病毒；當濃度達到4mg/L時，1分鐘內乙肝病毒滅活率為100%。
水經過臭氧殺菌處理后，水的濁度、色度等理化性質得到明顯改善。由于臭氧容易分解，不能儲存，所以需要現場使用臭氧發生器，準備現場使用。在消毒行業，目標是特定的接觸時間或 CT 值。
CT 值通常以 mg/min-1 為單位給出，相當于 ppmx 時間 CT 消毒值是一個數字，它告訴您某種特定類型的病原體何時已“煮熟”或滅活到所需的水平。在 15 攝氏度滅活 99% (2Log) 的隱孢子蟲所需的 CT 值為 12。
如果我的水中臭氧濃度為 2ppm，那么我需要將水中的臭氧水平保持 6 分鐘。臭氧濃度 (2ppm) x 時間（6 分鐘）= 12。大腸桿菌和臭氧的 CT 值非常低，僅為 0.02。濃度為 0.5 ppm 的臭氧只需 2.4 秒的接觸時間就能滅活 99% 的大腸桿菌。
對于自來水的臭氧凈化，國際標準是溶解度值0.4mg/L，維持4分鐘，即CT值為1.6；當臭氧在礦泉水中的溶解度為0.4～0.5mg/L時，即可滿足殺菌和保質的要求。臭氧的合理用量為1.5～2.0mg/L；瓶裝水的處理應達到0.3～0.5mg/L臭氧殺菌濃度。當然，消毒時需要用水中臭氧監測儀實時監測水中臭氧濃度，以免出錯。